ラピダス、露光装置を初搬入 小池社長ら出席―北海道 - 時事通信

次世代半導体の国産化を目指し、北海道千歳市に工場を建設中のラピダス（東京）は１８日、極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を初めて搬入し、設置作業を開始したと発表関連キーワードはありません