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imecのCEO「北海道に半導体研究拠点」 産学と連携も - 日本経済新聞

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ラピダスは北海道千歳市に半導体の新工場を建設する。imecとの連携で極端紫外線(EUV)露光技術の支援を受け、2027年に回路線幅が2ナノメートルのロジック関連キーワードはありません

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